我们通常使用的压力传感器主要是基于压电效应而制造出来。压力传感器的性能如何一方面在于合理进行压力传感器的误差补偿。它的误差来源主要是灵敏度误差、偏移量误差、线性误差和滞后误差。由于在整个压力范围内垂直偏移保持恒定,因此变换器扩散和激光调节修正的变化将产生偏移量误差。灵敏度误差,它的大小与压力成正比。如果设备的灵敏度高于典型值,灵敏度误差将是压力的递增函数,否则相反。

  在实际测量中,滞后误差一般忽略不计,除非在压力变化非常剧烈的场合。线性误差的来源在于传感器敏感器件物理非线性,如果传感器中含有放大器,它还需包括放大器的非线性误差。线性误差曲线可能是凹形的,也可能是凸形的。传感器标定可消除或极大地减小这些误差,而补偿技术通常要求确定系统实际传递函数的参数,而不是简单的使用典型值。电位计、可调电阻以及其他硬件均可在补偿过程中采用,而软件则能更灵活地实现这种误差补偿工作。压力传感器的标定方法主要有:

  一点标定法:这种标定方法可通过消除传递函数零点处的漂移来补偿偏移量误差,这类标定方法通常称为自动归零。偏移量标定通常在零压力下进行,特别是在差动传感器中,因为在标称条件下差动压力通常为0。

  选择标定压力:标定压力的选取决定其获取的压力范围,标定点必须根据目标压力范围加以选择,而压力范围可以不与工作范围相一致。 而灵敏度标定在数学模型中通常采用单点标定法进行。

  三点标定法:线性误差通常都具有一致的形式,它可以通过计算典型实例的平均线性误差,确定多项式函数(a×2+bx+c)的参数而得到。确定了a、b 和c 后得到的模型对于相同类型的传感器都是有效的。该方法能在无需第3 个标定点的情况下有效地补偿线性误差。